简介：TQ171.68497010634超精密光学抛光研究的进展及其发展趋势=Developmentandfeatureofultraprecisionopticalpolishing[刊,中]/滕霖,任敬心(西北工业大学.陕西,西安(710072))∥航空精密制造技术.—1996,32(3).—5—9综述了对精密光学抛光影响精度和质量的因素,对重要因素目前的研究进展进行了分析;介绍了新型

简介：O72395021325磨抛工艺中HgCdTe晶片的表面损伤=SurfacedamageofHgCdTewafersinlappingandpolishing[刊,中]/姚英,蔡毅,欧明娣,梁宏林,朱惜辰(昆明物理所.云南,昆明(650223))//红外技术.—1994,16(5).—15—20用X射线反射形貌术研究了磨抛工艺在用Te溶剂法和布里奇曼法生长的碲镉汞晶片表面引入的

简介：高功率固体激光装置对KDP晶体光学元件的基本要求是大口径、高精度面形质量、高激光损伤阈值、良好的表面粗糙度。但是KDP晶体本身具有质软、易潮解、脆性高、对温度变化敏感、易开裂等一系列不利于光学加工的特点，传统的研磨抛光法不适于加工高精度的大口径KDP元件。国外加工此类元件已广泛采用先进的单点金刚石车削技术（简称SPDT）。采用SPDT技术加工KDP晶体元件，主要存在3个方面的加工误差，即晶体的面形误差、表面粗糙度（包括表面疵病）以及小尺度波纹等。

简介：TN30597010636大规模集成电路刻蚀过程和终点的在线监测-等离子发射光谱法=Insitumonitoringetchprocessandend-pointforLSIbytheplasmaemis-

简介：TN30595021329相移掩模的计算机模拟方法研究[学,中]/沈锋;中科院光电技术研究所.—62页.—1994.6研究了亚微米微细光刻技术的一个热门领域—相移掩模提高分辨率.从Hopkins理论出发,导出了一般情况下的二维物体的部分相干成像的简化强度

简介：针对离轴TMA结构空间相机中使用的两块离轴非球面反射镜的加工过程,提出了一种新型的矩形轴非球面的最接近球面半径的求解及其优化方法,并且开发了基于计算机虚拟加工技术的CC()S工艺参数计算方法。被加工工件分别为165mm义100mm的矩形凸面

简介：本工作主要包括KDP晶体单点金刚石车削加工和是非球面透镜数控抛光技术。

简介：工件如图1所示，材料为1Crl8Ni9Ti，焊接结构件。加工的主要难点是工件内孔深且为盲孔，内孔底部为球面，几何精度要求高，薄壁，刚性差，容易引起变形。

简介：论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及

简介：TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限

简介：TB8112000031973一种新的闪光照相图像边界检测方法=Anewedgedetectionmethodforflashradiographicimage[刊,中]/管永红,刘瑞根,周俸才(中国工程物理院流体物理研究所.四川,成都(610003))//光子学报.—1999,28(2).—161-164介绍了一种用于闪光X光照相图像的边界检测方法,称为计算对比法。对于投影成像,由于成像系统的非理想特性,实际照相特性的边界与理想成像图像的边界之间往往存在一位置差,称之为边界退化量。模糊图像

简介：小工具数控抛光技术已成为ICF大口径光学元件制造的主工艺技术，由于这种工艺技术使用了比被加工元件外形尺寸小得多的抛光磨头来进行加工，所以被加工表面将呈现出不同于传统方法加工表面的特征。与传统抛光技术相比，被加工表面的某些频率成分可能增加，可能会对光学系统带来不良的影响。

简介：TN25298063682氮化铝光波导热光特性研究=Studyofthermo-opticalcharacteristicsofAINopticalwaveguides[会,中]/袁一方,韩莹,张岭,周立(上海理工大学.上海(200093)),汤晓,斯潘森(霍华德大学.美国,华盛顿)//全国第八次光纤通信暨第九届集成光学学

简介：微细切削技术是当前先进制造技术领域中的一个重要发展方向，微细切削的目的是通过机械切削的方式实现微小结构的精密成形。在微细切削过程中，刀具的姿态调整是确保微细切削顺利实施的一个重要环节。以微细车削中的刀具姿态微调为目标，提出了以图像处理为基础的在线检测方案和以斜锲机构为基础的刀具姿态微调技术方案。

简介：TQ171．652005032360利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法研究=Studyontestingmethodsoflarge-aperturerectangleoff-axisasphericalsurfacewithcomputeraidedalignment[刊,中]／杨晓飞(中科院长春光机所．吉林,长春(130022)),韩昌元∥光学技术．-2004,30(5)．-532-534通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分

简介：本项研究是针对球面沟槽的铣削加工进行研究。球面沟槽共有α，β，γ，θ四种构型，均为球面向心等深槽，呈网络分布。该项研究基于五轴联动加工中心进行了球面沟槽铣削加工的研究。通过仔细分析图纸，攻克了难点，根据空间几何关系进行计算，推导出了α槽、β槽以及γ槽等与向心角θ和水平角w之间的几何关系式，以及在加工运动过程中，随着θ角的变化，机床坐标轴y、z与θ角的几何关系式。

简介：TN9112001010373光子相关计及DMA数据传输系统设计=ResearchondesignandapplicationofdualdatachannelsDMAtransfersystems[刊,中]/李峰,杨建文,陆祖康,包正康(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室.浙江,杭州(310027))∥浙江大学学报.工学版.-2000,34(2).-135-139提出了一种实现双数据通道DMA传输的新方法,并成功地应用于光子相关计中,详细地分析了工作在命令传输方式的操作时序,提出了实现双数据传输方式的逻辑设计。图6表1参5(李瑞琴)

简介：O433.597052890研究表面光学和热学特征的一种新方法—光热位移光谱=Anewmethodforthestudyofopticalandthermalpropertiesofsurfaces:photothermaldisplacementspectroscopy[刊,中]/张振杰(西北大学物理系.陕西,西安(710069))//光子学报.—1996,25(7).—585—588介绍研究固体、表面及薄膜的光学和热学特性的一种十分灵敏的探测技术。这一探测技术—光热位移光谱,是基于对样品表面吸收电磁辐射后所引起的热膨胀的测量。该技术亦适用于那些要求高真空和温度变化范围较大条件的实验研究工作。这种光谱技术还能将面吸收和体吸收很好的区分开来,入射功率面的

简介：O432.196020717同步辐射应用的发展=Developmentofsynchrotronradiationapplications[刊,中]/冼鼎昌(中科院高能物理所)∥物理。—1995,24(11)。—642—650综述了同步辐射的特点,世界上三代同步辐射装

简介：TN2522000031826分析扩散沟道光波导的条形传递函数方法=Amethodofanalysingstriptransferfunctionsofdiffusivechannelwaveguides[会,中]/冯莹(国防科技大学应用物理系.湖南,长沙(410073)),李海洋,周建平(国防科技大学航天技术系.湖南,长沙(410073))//全国第九次光纤通信暨第十届集成光学学术会议.—