简介:摘 要:本文拟从反应气体流量、射频电源的功率、产品表面温度和产品与喷头之间的距离四个方面单因素探索每个工艺条件对产品钝化膜层质量所产生的影响,从中得出每个因素单方面最适宜生产产品的工艺参数。然后再通过正交实验,设计 4因素 5水平试样,将各个工艺参数的影响综合进行比较,从中得出最适合生产的工艺参数。在 650V高压 VDMOS功率器件的表面制备 4KÅ氮化硅钝化膜的最佳工艺参数组合为:反应气体流量比例为 38:14,射频功率为 350W,硅片表面的温度为 390℃,硅片与喷头的距离为 340mils。经过试验得出结论,供 VDMOS半导体技术工作者参考。
简介:摘要:在传统产品中,制造方式和加工制造环节容易严重脱节,这会导致机械制造行业停滞不前的局面,而建立MBD标准模型的技术,可以有效解决机械制造所带来的难题。目前,此项技术在实际作用中还存在很多困难,本文研究了基于MBD标准模型的建立方法,希望能用于机械制造中的MBD零件标准模型的建立。
简介:摘要:科技的进步,促进工程建设事业得到快速发展。工程陶瓷具有硬度高、强度高、耐磨损、热膨胀系数低以及绝缘等优良性能,被广泛应用于机械和航空等领域。由于陶瓷材料具有硬脆特性,磨削加工是其主要的加工方式。在陶瓷磨削加工过程中,涉及到力学、热学、材料学以及化学等多学科问题,在多场强作用下的磨削机理有待进一步揭示。与其他加工方式不同的是,在磨削过程中去除单位体积材料需要大量的能量,这些能量最终都以热的形式进行转化,只有一小部分用于形成新的表面,这会导致磨削区产生较高的磨削温度,而表面温度过高又会对陶瓷表面质量、加工精度、加工效率以及砂轮磨损产生很大影响。此外,陶瓷材料的抗热冲击性能差,高温时会在磨削表面形成烧伤与热裂纹,极大影响其使用寿命。本文就氮化硅陶瓷磨削温度与表面裂纹扩展展开探讨。
简介:摘要 提出气凝胶结构有限元模型自动建立算法,开展气凝胶杆(纤维)单元框架的搭建策略研究与实体单元对纤维进行重构方法研究。建立1:1000的气凝胶试件有限元模型。取局部模型在有限元中进行计算,对气凝胶有限元自动搭建程序进行了验证。
简介:【摘要】 点焊在汽车制造中得到广泛的应用,点焊过程中的焊接分流,严重影响焊接质量。根据氮化硅陶瓷材料的物理性能,结合在汽车焊接中的分流现象,对氮化硅陶瓷材料在焊接夹具上的应用进行了分析和验证,研究出氮化硅陶瓷材料在焊接夹具上的应用方法。